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空间静电消除器

智能洁净室电离系统

TS64XX

天花板发射器离子发生器的目的是在半导体晶片工艺,提供房间电离,适合平板显示器、制药和其他清洁环境中的应用。

产品特点:
• 除电速度≤2.0S@20cm
• 离子平衡士100V
• 手动或反馈控制离子平衡
• 24V直流供电
• 放电针数量2个
• 支持RS485通讯
• 支持I0控制

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