静电吸附尘埃对微电子生产业影响很大，在现代大规模集成电路（LSI） 生产中，芯片的线间距非常微小。如果其产生静电则对几到几十微米的尘埃吸附作用明显。 一颗直径几微米尘埃吸附在芯片上，即可造成几十根芯线之间的绝缘强度降低，使芯片漏 电流增大，使用寿命缩短，甚至很快造成短路使芯片损坏。由于静电吸附灰尘，特别是 对光电器件（CCD、LED、光电电池等），其转换效率会大大降低。如图1-10所示为尘埃 粒度与IC芯片间距的比较。酸、碱、硅等微粒子吸附在芯片上，还可造成芯片腐蚀。
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