一款采用稳态直流技术的智能化静电控制设备。专为解决半导体、平板显示、精密电子及医药制造等高端行业中，设备内部、传送带及工作站等受限空间的静电荷与微粒污染难题而设计。产品具备智能离子自平衡功能，可实时响应环境变化，确保稳定、高效的静电中和效果。其紧凑精巧的结构、超低颗粒析出的洁净兼容性，以及支持工业通讯的远程监控能力，使其能无缝集成于各类自动化产线与精密设备中，有效提升产品良率、保障生产安全与工艺可靠性。
产品特点：
• 实时监测并自动调节，保持最佳离子平衡状态
• 三色LED指示灯，运行、清洁、故障直观显示。
• 超薄紧凑设计，轻松集成于各类设备内部。
• 24V直流安全电压，易于接入设备电路。
• 标配RS485接口，支持远程监控与智能调控。
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稳态直流结合智能离子自平衡技术采用先进的稳态直流离子发生技术，从根本上解决了传统交流或脉冲式电离可能带来的电荷残留与波动问题。系统内置高精度传感器与智能反馈电路，可持续监测离子平衡，并实时自动调节输出，确保在20cm工作距离处残余电压始终稳定在±35V以内。 |
紧凑设计，无缝集成采用极简紧凑设计，最大限度节约设备内部空间。可无缝集成于各类工艺设备的局限空间内，兼具对现有产线改造与新建产线布局的高度适应性。帮助客户在有限空间内高效部署静电控制功能，实现整体设备配置的优化。 |
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三色LED指示灯与远程报警的可视化状态管理设备配置直观的三色LED状态指示灯，并具备远程报警信号输出功能。操作人员无需借助专用仪器，仅凭目视或与PLC连接的报警信号即可实时掌握设备运行状态。这极大简化了日常点检与产线管理，支持快速响应，确保静电控制环节的万无一失。 |
RS485通讯实现全数字化集成与远程调控标配RS485工业通讯接口，支持Modbus标准协议，可无缝接入工厂物联网平台。用户可在中央控制室远程监控每台设备的运行状态、离子平衡数据等，并可远程调节以适应不同生产批次的需求。这一功能是实现“智能工厂”中环境控制参数可追溯、可管理的关键一环，助力客户达成更高的自动化与信息化水平。 |
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晶圆切割与划片工艺的静电控制解决方案在晶圆切割（Dicing）与划片（Scribing）的精密制程中，静电控制是直接影响良率、设备效率与芯片质量的核心环节。传统静电消除器常因无法适应设备内部狭小空间、性能受环境气流干扰、或存在颗粒污染风险而难以胜任。TS3303F专为此类高精度、空间受限的应用场景设计，提供了一站式的静电与微污染协同控制方案。 |
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