传输式静电消除器专为解决难以触及或封闭工作区域的静电问题而设计,广泛应用于半导体、平板显示器、制药及医疗等高精度制造行业。其采用先进的直流电离技术,可通过长管道高效、稳定地输送离子,实现对狭小空间或纵向延伸区域的全面静电控制。设备兼容洁净干燥空气或氮气,确保与超高洁净环境无缝集成,同时支持MODBUS RTU通讯,便于接入工厂MES系统,实现智能化监控与管理。
产品特点:
• 长距离离子输送,覆盖难以触及的区域
• 直流电离技术,输送高效稳定
• 兼容洁净干燥空气与氮气,无污染风险
• 结构紧凑,易于集成到现有设备
• 智能状态指示,运行状态一目了然
• 单晶硅离子针,大幅降低晶圆污染风险
• 整机功耗低于1.5W,节能环保
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长距离离子输送能力采用优化的直流电离技术与高效气流设计,TS3303L传输式静电消除器可实现离子通过管道稳定、远距离传输,有效覆盖生产线中难以直接接近的区域。无论是纵深较大的设备内部,还是高度较高的工艺腔体,均能实现均匀、快速的静电中和。这一特点特别适合半导体晶圆加工、面板组装等环节,彻底解决传统静电消除器因安装位置受限而效果不足的问题,是高效、可靠的静电消除解决方案。 |
直流电离技术,工作更稳定采用先进的直流电离技术,TS3303L传输式静电消除器相比传统交流电离方案,能产生离子平衡度更高、残余电压更低的离子场,且运行稳定,不易产生电磁干扰。此项技术结合长管道输送时,离子损失极小,可保持稳定的离子输出浓度,确保设备在持续运行中,即使面对半导体、面板制造等严苛环境,也能远距离提供持久、高效的静电中和能力。 |
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单晶硅离子针,减少污染风险TS3303L传输式静电消除器采用高纯度单晶硅材料制造的放电针,在电离过程中产生的微粒极少,且表面不易积聚污染物,从而从源头上降低了因离子针污染导致的静电消除缺陷。这对于半导体制造中关键的光 刻、蚀刻等洁净室环节尤为重要,可显著降低产品报废率,有效提升整体良率,是保障精密工艺稳定运行的可靠选择。 |
24VDC输入,智能实时监测告警,保障连续生产良率TS3303L传输式静电消除器采用24VDC宽压电源输入,兼容主流工业电源标准,供电稳定可靠。设备集成智能实时监测告警系统,可对运行状态进行持续监控,既可通过多色指示灯实现本地状态可视化,也能通过通讯接口(如RS485/MODBUS) 实现远程监控与数据反馈。 |
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粘片工序:杜绝贴装污染与偏移在高速、精密的粘片机上,静电会吸附空气中的微尘污染芯片粘结面,更可能导致超薄芯片在拾取时发生位置偏移或破裂。TS3303L传输式静电消除器可通过柔性管道,将洁净离子气流直接输送至点胶头或贴装头等密闭且难以触及的关键点位。瞬间中和芯片、基板及吸嘴上的静电,从根源上减少因静电吸附造成的污染和贴装不良。 |

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