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TS3603

层流式 - 区域静电消除器

埃用TS3603稳态直流静电消除器专为半导体、面板等高端制造业的层流洁净环境设计。其采用创新的单晶硅离子针与稳态直流电离技术，在高效、持续消除静电的同时，从根本上杜绝了离子针自身产生的微粒污染。独特的四极静电针架构，可在近距离（约7.6厘米）实现有效电离。离子产生器结构紧凑，支持24VDC电源，易于集成到设备内的有限空间，直接应对静电吸附颗粒与放电损伤，保障工艺洁净度与产品良率。

产品特点：
• 体积小巧，轻松集成于各类设备内部
• 独特的四极静电针架构设计
• 单晶硅离子针，从源头消除颗粒污染
• 24VDC电源输入，实时故障诊断与告警
• 稳态直流技术，提供持续均衡的正负离子输出
• 为洁净室层流环境设计，不影响气流组织与洁净度
• 稳态直流技术，护航高端制造

紧凑结构、狭小空间安装

采用高度紧凑的尺寸设计，大幅减少对工艺设备内部空间的占用，易于集成到各类工艺设备的局限空间内。其小巧体积不仅便于在已有产线中加装，也适用于新建产线的灵活布局，帮助客户在有限的空间内实现静电控制功能的最大化部署，从而优化整体设备配置。

单晶硅离子针、大幅降低颗粒污染

传统离子针在放电过程中易产生微颗粒脱落，成为洁净环境中的污染源。本产品创新采用高纯度单晶硅材料制造离子针，结构稳定，在长时间高压电离空气中几乎不产生微粒脱落，从源头显著降低污染风险。静电消除器这一设计特别适用于半导体、光电显示、生物医药等对洁净度要求极高的行业，能有效保护晶圆、光学元件等关键工艺制品免受污染，提升产品良率与可靠性。